集成電路無塵車間的裝修施工需要嚴格控制潔凈度、靜電控制和溫濕度等要求。以下是合景凈化工程公司整理的集成電路無塵車間裝修施工的步驟：

       首先，根據集成電路行業(yè)的要求和潔凈度等級，進行車間的設計規(guī)劃。確定潔凈區(qū)域、非潔凈區(qū)域和輔助區(qū)域的布局，并考慮空氣流動、進出控制和設備安裝等因素。進行車間的結構施工，包括墻體、天花板和地板的建設。選擇符合潔凈要求的材料，如潔凈型墻面板、天花板板材和導電地板等。確保施工質量，防止塵埃和顆粒的產生和積聚。

       其次，需要安裝潔凈車間的空調系統(tǒng)，包括空氣供應和排風系統(tǒng)，安裝高效過濾器，如HEPA和ULPA過濾器。采取靜電控制措施，安裝溫濕度控制系統(tǒng)，監(jiān)測和調節(jié)車間內的溫度和濕度水平。

       最后，需要設計適當的進出控制措施，如潔凈室門、空氣淋浴和人員通道等。減少外部顆粒和污染物的進入，并確保人員進出車間時的潔凈度要求。

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